반도체장비 부품사업은 당사의 설립의 모태가 된 사업으로 주로 반도체 전(前) 공정 장비 및 주요 설비부품의 제조ㆍ판매 사업을 영위하고 있습니다.
1993년 9월 반도체  Furnace장비의 일부인 High Temperature 용 Heating Chamber의 독자적인 개발을 시발로 하여 Molybdenum, Titanium, Tungsten등 고융점 금속을 소재로 한 다양한 Item의 연구개발 노력결과 현재는 제품종류나, 품질, 외형 등 전반에서 업계 선도업체로 자리매김하고 있습니다.

경기도 광주공장을 중심으로 영위하고 있는 반도체장비 부품사업은 반도체 장비의 부품 즉 CVD, Ion Implanter, Sputter, Etch 등에 사용되는 주요부품의 제조와 세정사업을 주로 영위하고 있으며 이렇게 생산된 제품은 국내 뿐만아니라 미국, 일본, 대만 등 주요업체에 공급하고 있습니다.
반도체장비 부품사업은 산하의 부설연구소를 통하여 매년 매출액의 5%이상에 달하는 연구개발 투자노력을 기울이고 있으며, 꾸준한 신제품의 개발과 고객만족 활동을 통하여 사업의 핵심역량을 극대화 해 나가고 있습니다.